EBSD（電子背散射衍射）技術主要用于快速獲取晶體材料的晶體學信息，可對材料進行織構和晶粒間取向差分析，晶粒尺寸及形狀分布分析，晶界、亞晶及孿晶分析，應變和再結晶的分析，以及相鑒定和相含量計算等，解決材料在結晶、薄膜制備、半導體器件、形變、再結晶、相變、斷裂、腐蝕等過程中的問題。

國家有色金屬及電子材料分析測試中心，在JSM-7001F型場發(fā)射掃描電鏡上配備了EDAX公司的EBSD裝置，與安裝在普通鎢燈絲的EBSD裝置相比，具有光源強，采集速度快，菊池線質(zhì)量高等優(yōu)點。通過該公司新的TSL OIM Data-Collection 5 軟件，可對采集數(shù)據(jù)進行各種解析。實驗室對鋁合金、鎂合金、鈦合金等材料有豐富的制樣及EBSD數(shù)據(jù)分析經(jīng)驗。